Cur síos ar an trealamh:
· Trealamh Réamhrá:
Glacann trealamh miotalúcháin i bhfolús dearadh struchtúr an tseomra dúbailte, seomra an tseomra próisis + luchtú/díluchtú seomra, arb é an comhtháthú foirfe é ar iontaofacht próisis agus éifeachtúlacht próisis. Tá foinse glantacháin ardfhuinnimh ianbeam feistithe le trealamh miotasach i bhfolús, roinnt tacair de fhoinse sputtering maighnéadrach, agus córas tiomána leictreamaighnéadach iontaofa servo, tá trealamh miotasach folúis an -mhodúlach, cobhsaí, éasca le hoibriú agus éasca a chothabháil.
· Buntáistí trealaimh:
Comhéadan uilíoch modúlach a chur in iúl, atá comhoiriúnach go díreach le foirmeacha difriúla spriocanna catóide, a cheadaíonn cuisle DC, minicíocht idirmheánach, modh oibre RF, comhoiriúnacht láidir;
Cuir an cosán maighnéadach agus an próisis atá deartha go speisialta in iúl, feabhas éifeachtach a chur ar an ráta úsáide sprice agus ar chobhsaíocht an phróisis fhadtéarmach;
Dearadh struchtúr an tseomra dhúbailte a chur in iúl, ní hamháin chun cobhsaíocht agus comhsheasmhacht an phróisis a chinntiú, ach freisin an t-am cóireála réamhchúitimh a ghiorrú go mór, feabhas a chur ar éifeachtúlacht táirgthe;
Soláthraíonn an córas oibriúcháin próisis uathoibríoch uathoibríoch féin-dheartha Soláthraíonn sé cumais chuimsitheacha foirmle agus glaonna próisis, atá feistithe le córas monatóireachta paraiméadair próisis fíor-ama, a cheadaíonn cianrialtán ar líne.
Réimse Iarratais:
Is féidir le Express au, Ag, IR, RE, PT, TA, TI, CU, CR, NI agus miotail eile agus a gcomhdhúile a phlátáil;
Is féidir Express a úsáid i gcomhpháirteanna leictreonacha, i gcealla gréine, i ndéantúsaíocht ardleibhéil, i stóráil faisnéise maighnéada-optúil agus i réimsí eile.
Cineál brataithe:
|
Cineál Cumhdach |
Tiús Scannán (μM) |
Réimse iarratais |
|
Au, Ag, Ir, Re, Pt, Ta, Cr, srl |
0.5-10 |
Comhpháirt leictreonach, cealla gréine, déantúsaíocht ard-deireadh, stóráil faisnéise maighnéada-optúil, etc. |
Clibeanna Te: Trealamh Miotalúcháin Fholúis, déantúsóirí trealaimh, soláthraithe, monarcha, monarcha, monarcha
