Is féidir teicneolaíocht sciath i bhfolús a roinnt ina dhá mhórchineál: sil -leagan gaile fisiciúil (PVD) agus sil -leagan gaile ceimiceach (CVD). Athraíonn an próiseas foirmithe bratuithe idir an dá chineál seo, mar atá sonraithe thíos:
Sil -leagan gaile fisiciúil (PVD):
· Ábhar brataithe a ghalú: Tógáil galúcháin mar shampla, téitear an t -ábhar sciath trí fhriotaíocht, léas leictreon, léasair, srl. Mar shampla, i sciath galú léas leictreon, déanann an léas leictreon an t -ábhar sciath a bhomáil chun teas a théamh go tapa agus é a ghalú.
· Imirce na gcáithníní: Taistealaíonn adaimh nó móilíní ábhair ghásacha ag taisteal ón bhfoinse ghalaithe go dtí an dromchla foshraithe. I bhfolús, bogann siad i líne beagnach díreach le cúpla imbhualadh le cáithníní eile. I bplating ian, déantar an t -ábhar sciath a ianú agus a luathú i dtreo dhromchla an tsubstráit faoi thionchar réimse leictreach.
· Sil -leagan scannáin: Ar dhromchla an tsubstráit a bhaint amach, léirítear cuid de na cáithníní gásacha agus déantar daoine eile a astú. Déanann na cáithníní asaithe idirleathadh ar an dromchla. Nuair a sháraíonn líon na gcáithníní comhiomlánaithe luach criticiúil áirithe, cruthaíonn siad núicléas cobhsaí. Leanann na núicléis chobhsaí seo ar aghaidh le cáithníní a mhaisiú agus a idirleathadh, ag fás de réir a chéile níos mó. Tagann núicléis in aice láimhe i dteagmháil agus le cumasc, agus sa deireadh tá sciath leanúnach ann.
Sil -leagan gaile ceimiceach (CVD)
· Seachadadh gáis: Déantar comhdhúile gásacha ina bhfuil gnéithe an ábhair sciath nó na ngás imoibríoch a sheachadtar chuig an seomra imoibriúcháin trí ghás iompróra. Déantar na gáis seo a dháileadh go haonfhoirmeach timpeall an tsubstráit i dtimpeallacht folúis.
· Imoibriú ceimiceach: Faoi theocht áirithe, brú, agus coinníollacha eile, téann imoibreoirí gásacha faoi fhrithghníomhartha ceimiceacha ar dhromchla an tsubstráit, amhail dianscaoileadh, teaglaim, laghdú, etc. Mar shampla, nuair a bhíonn sciath nítríde tíotáiniam á n -ullmhú, úsáidtear go hiondúil go n -úsáidtear hailídí tíotáiniam agus amóinia mar ghás imoibríoch, a imoibríonn ag teochtaí arda chun nitride a fhoirmiú.
· Sil -leagan scannáin: Na táirgí soladacha a ghineann an taisce imoibriúcháin cheimiceach ar dhromchla an tsubstráit chun sciath a dhéanamh. De réir mar a leanann an t -imoibriú, méadaíonn an t -ábhar taiscthe, agus fásann an sciath de réir a chéile níos tibhe.
