Forbhreathnú Táirge

 

Déantar an Trealamh Scannán Thanaí Galú Líoma Leictreonach seo a innealtóireacht le haghaidh deascadh gaile fisiciúil ard-chruinneas (PVD). Trí leas a bhaint as léas leictreoin ardfhuinnimh fócasaithe chun bunábhair a thumadh, sroicheann an córas rátaí arda galaithe do mhiotail phointe, ocsaídí agus ábhair thréleictreacha arda.


Tógtha ar fholús-ailtireacht mhodúlach, áiríonn an córas gunnaí il-phóca leictreoin, daingneáin shubstráit inoiriúnaithe, agus tá siad curtha chun cinn i-mhonatóireacht situ. Freastalaíonn sé ar shaotharlanna T&F agus ar línte táirgeachta ard-thréchuir a éilíonn diansmacht ar stoichiometry scannán, greamaitheacht agus feidhmíocht optúil.

 
 
Sonraíochtaí Teicniúla

 

Paraiméadar

Raon Sonraíochta

Nótaí / Cumraíocht Chaighdeánach

Brú Bunús Deiridh

< 5.0 × 10^-6 Pa

Bainte amach trí ghrúpaí caidéalaithe crióigineacha nó turbo-móilíneacha

Toisí Seomra

Saincheaptha (trastomhas inmheánach 500 mm go 1200 mm)

Cruach dhosmálta 304L / 316L, electro-snasta

E{{0}Rátáil Cumhacht Gunna

6 kW go 15 kW (Il--gineadóirí scuab póca)

Sraonadh léis ríomhchláraithe agus innéacsú -breogán

Ráta Taiscí

0.1 nm/s go 10 nm/s

Rialú lúb fíor-ama trí mhonatóir criostail Grianchloch

Comhionannas Tiús Scannán

< ±1% to ±2% across standard substrates

Daingneán tsubstráit pláinéadach nó cruinneachán le rothlú luais athraitheach

Teocht Foshraith

Comhthimpeallach go 800 céim

Teas radanta comhtháite le haiseolas teirmeach PID

 

Príomhghnéithe Trealaimh

Leictreonghunna Ard-Chobhsaíochta:

Gnéithe sraonadh maighnéadach agus fócas ilphointí chun róthéamh áitiúil na mbunábhar a chosc agus deireadh a chur le caitheamh le linn galú imoibríoch.

Dearadh Breogán Modúlach:

Feistithe le teallaigh innéacsaithe póca idir 4 agus 6, rud a ligeann do thaisí ilchisealacha gan folús a bhriseadh.

 

Comhghlasáil Fholúis Casta:

Cosnaíonn comhlaí neomatacha rialaithe PLC, seicheamhú folúis uathoibrithe/ard, agus idirghlasanna in aghaidh teip uisce fuaraithe agus aimhrialtachtaí cumhachta.

Íseal-Seomra Éillithe:

Úsáideann sciath inmheánach cruach dhosmálta leictrilíteacha le líneálacha inbhainte chun cáithníneach a laghdú go tapa agus slánú cothabhála.

 

 

Ábhair Scannán & Foshraitheanna

 

Ábhair Ghalú Comhoiriúnacha

Miotail: Au, Ag, Al, Ti, Cr, Ni, Pt, Cu, Mo, W
Tréleictreach & Ocsaídí: SiO2, TiO2, Al2O3, Ta2O5, HfO2, ITO

 

Cineálacha Foshraith

sliseog sileacain (2 orlach go 12 orlach)
Gloine optúil, shilice comhleáite, agus foshraitheanna Grianchloch
Scannáin pholaiméire sholúbtha (polaimide, PET trí mhodúil rolla-go-rolla)
Foshraitheanna ceirmeacha (Al2O3, AlN)

 
 
 
Feidhmchláir
High Vacuum Electron Beam Evaporation Equipment

Bratuithe Optúla:

Bratuithe frith-fhrithchaiteacha (AR), scagairí banna caola, agus scátháin ard-fhrithchaiteachta do chórais léasair agus fhótóinic.

Electron Beam Thin Film Deposition System

Gléasanna Leathsheoltóra:

Foirmiú teagmhála omach, miotalú geata, agus -próiseáil asbhainte le haghaidh micrileictreonaic.

Electron Beam Vacuum Evaporation Equipment

Optaleictreonaic:

Sraitheanna trédhearcacha ocsaíd seoltaí (TCO) agus scannáin tanaí le haghaidh taispeántais OLED agus cealla fótavoltach.

Electron Beam Evaporation Thin Film System

T&F Casta:

Sraitheanna maighnéadacha scannán tanaí taiscéalacha, scannáin fhorsheoltach, agus heitreastruchtúir ilchisealacha.

 

Saincheapadh & Cumraíocht an Chórais
 
 

Tá gach córas scannán tanaí cumraithe le bheith ag teacht le hoidis próisis ar leith agus le leagan amach saoráidí. I measc na n-oiriúnuithe innealtóireachta atá ar fáil tá:

 

Roghnú Stack Pumpála:

Cumraíochtaí idirleathadh turbo-chaidéil mhóilíneacha (TMP), crióchaidéil, nó ola atá oiriúnaithe do bhunriachtanais fholús agus tréchur.

 
 

Luchtaigh-Comhtháthú Glas:

Lódáil de láimh-glas nó córais braisle ilseomra uathoibrithe chun sláine ultra-folúis ard a choinneáil agus chun tréchur sliseog a mhéadú.

 
 

In-Méadreolaíocht Situ:

Calafoirt chomhtháthaithe le haghaidh éilipsiméadar speictreascópach, monatóirí optúla, nó anailíseoirí gáis iarmharacha (RGA).

 
 

Bogearraí Rialaithe:

Comhéadan dílseánaigh PLC/HMI le stóráil oidis, logáil sonraí, agus prótacail chumarsáide SECS/GEM le haghaidh comhtháthú monarchan cliste.

 

 

 
 
Déantúsaíocht & Rialú Cáilíochta
01.

Déantúsaíocht Soithí:

Déantar tástáil sceite mais-speictriméadar héiliam ar gach seomra folúis le tairseach diúltaithe < 1 × 10^-9 Pa·m³/s.

02.

Ionracas Weld:

Táthú TIG a dhéantar faoi sciath gáis támh, agus ina dhiaidh sin pasivation dromchla inmheánach agus snasú meicniúil a laghdú outgassing.

03.

Tástáil Glactha Monarchan (SAILL):

72-uair an chloig leanúnach tirim-tástáil rith reatha a thomhaiseann cuair chaidéalaithe, beachtas scuabtha r-ghunnaí, amanna freagartha idirghlasa, agus cobhsaíocht theirmeach roimh an gcliathán.

04.

Comhlíonadh & Caighdeáin:

Monaraithe faoi chóras bainistíochta cáilíochta deimhnithe ISO 9001, le córais a ndearnadh innealtóireacht orthu chun treoracha CE agus treoirlínte sábháilteachta agus eirgeanamaíochta ábhartha SEMI (S2/S8) a chomhlíonadh.

 

Suiteáil & Tacaíocht Theicniúil
Ar-Coimisiúnú an tSuímh:
Láimhseálann innealtóirí seirbhíse deimhnithe monarchan suíomh meicniúil, crúcaí áirgiúlachta (cumhacht, uisce fuaraithe, aer comhbhrúite), agus folúsbhácáil tosaigh-amach.
Tiúnadh Próisis:
Ritheann triail chomhoibríoch ag baint úsáide as foshraitheanna atá sonraithe ag custaiméirí chun rátaí sil-leagan, aonfhoirmeacht agus greamaitheacht scannáin a fhíorú.
Cothabháil Saoil:
Infhaighteacht ráthaithe páirteanna breise le haghaidh comhpháirteanna ardchaitheamh (filiméid, breogáin, sciatha) agus tacaíocht chiandhiagnóis trí naisc VPN tionsclaíochta criptithe.

 

 

CCanna

 

 

C: Cad é an t-am luaidhe tipiciúil le haghaidh cumraíochta córas caighdeánach?

A: Seoltar cumraíochtaí caighdeánacha laistigh de 16 go 20 seachtaine ó cheadú a tharraingt. Tá córais an-saincheaptha óna dteastaíonn-chumraíochtaí glasa speisialta nó céimseata neamhchaighdeánach aireagail, idir 24 agus 30 seachtain.

C: Conas a choisceann tú tras-éilliú ábhair idir galaithe éagsúla?

A: Baineann an córas úsáid as pócaí teallaigh aonair fuaraithe atá scartha le bacainní teirmeacha agus fisiceacha, in éineacht le patrúin optamaithe scuabtha léas leictreoin a chuireann deireadh le spásáil ábhair.

C: Cad iad na riachtanais fóntais áis do chóras 10 kW?

A: Requirements typically include 3-phase 380V/480V AC power, closed-loop chilled water supply (10–15°C, flow rate >30 L/nóiméad), agus aer comhbhrúite tirim (0.6–0.8 MPa) le haghaidh comhlaí neomatacha.

Tá muid ar a dtugtar go maith-ar cheann de na monaróirí agus soláthraithe trealaimh scannán tanaí galú léas leictreoin sa tSín. Má tá tú ag dul a cheannach trealamh saincheaptha scannán tanaí galú bhíoma leictreon a rinneadh sa tSín, fáilte roimh pricelist a fháil ónár mhonarcha. Le haghaidh comhairliúcháin praghais, déan teagmháil linn.

Glaoigh Linn
Déan teagmháil linnmá tá aon cheist agat

Is féidir leat teagmháil a dhéanamh linn ar an teileafón, ríomhphost nó foirm ar líne thíos. Rachaidh ár speisialtóir i dteagmháil leat ar ais go luath.

Déan teagmháil anois!