Córas tionsclaíoch -grád ian -Cuidithe Galú (IAE) córas a chomhtháthaíonn il-pocket-leictreon-galú léas le foinse fuinniúil léas iain (Deireadh-Cumraíocht Halla nó Kaufman). Aistríonn buamáil ian fíor-ama móiminteam cinéiteach chuig adaimh chomhdhlúthaithe, ag seachaint fás gránach colúnach agus ag tiomáint -dlús pacála scannán tanaí i dtreo luachanna bulc-ábhar.
Cumraithe le haghaidh baiscphróiseála ar ghléasraí rothlaithe pláinéadacha faoi uathoibriú dé-PLC. I measc na bpríomhfheidhmchláir tá bratuithe trasnaíochta optúla ar ard-damáiste léasair (LIDT), stoic dlúthscagaire tréleictreach, agus cótaí buana cosanta.
Sonraíochtaí Teicniúla & Cumas Próisis
|
Paraiméadar |
Sonraíocht & Cumas Próisis |
|
Brú Bunús Deiridh |
<= 5.0 x 10^-5 Pa (clean, dry, empty chamber) |
|
Caidéal-Am Síos |
< 15 min from atmosphere to 1.0 x 10^-3 Pa |
|
Tógáil Seomra |
304L / 316L Cruach Dhosmálta; electropolishing inmheánach (Ra<= 0.4 um) |
|
Foinse Bhíoma Leictreonaigh |
6 kW / 10 kW il-ghunna scuabtha póca (4 go 6 bhreogán) |
|
Cineál Foinse ian |
Críoch-Halla nó Kaufman-léas leathan; Fuinneamh: 50 - 300 eV; Reatha: 0 - 1000 mA |
|
Teocht Foshraith |
Comhthimpeallach go 300 céim C (+/- 2 deg C PID dúnta-rialú aonfhoirmeachta lúb) |
|
Aonfhoirmeacht Tiús |
<= +/- 1.0% across a 400 mm deposition zone (with planetary rotation) |
|
Rialú Strus Intreach |
<= +/- 50 MPa (Compressive/Tensile tunable via ion energy adjustment) |
|
Innéacs Athraonta A-Atriallta |
Delta n<= +/- 0.001 verified over 50 consecutive production runs |
|
Infhaighteacht an Chórais (Aga fónaimh) |
>= 95% infhaighteacht oibríochta faoi tháirgeadh il-shift leanúnach |
|
Ailtireacht Rialaithe |
Rialtóir tionsclaíoch dé-PLC le comhghlais sábháilteachta crua-earraí agus bainistíocht oidis |
Príomhghnéithe
Buamáil ian fuinniúil:Cuireann -aistriú móiminteam fíor-ama deireadh le micrithfholús, ag cobhsú innéacsanna athraonta i gcoinne taise-aistrithe speictreach spreagtha.
Fuiliú Gáis Imoibríoch:Cúitíonn instealladh páirtbhrú rialaithe O2 nó N2 easnamh ocsaigine le linn sil-leagan ocsaíde/nítríde, rud a bhaintear bannaí ionsúite fo-ocsaíde.
Deic Foinse Modúlach:Laghdaíonn caiséad-athsholáthar greille foinse ian stíle agus pócaí léasa in-idirmhalartaithe E-an t-imeall cuasáin-go-go dtí níos lú ná 2 uair an chloig.
Sláine Fholúis:Coscann feirí -miotail séalaithe agus Viton{-séalaithe ISO/CF atá péireáilte le comhlaí geata neomatacha tras-éilliú trasna na mbaisceanna.
Cumraíocht an Chórais Fholúis
Pacáiste garbh:Séidire fréamhacha agus eite rothlacha nó ola-caidéil mheicniúla scrollbharra heirméiteach saor in aisce.
Ard-Folúschaidéal:Cryogenic pump (cryopump) or magnetically levitated turbomolecular pump (air throughput >= 2200 L/s).
Tomhas Brú:Teaglaim Pirani agus -tomhsairí ianúcháin catóide le haghaidh logáil leanúnach ón atmaisféar go dtí an ardfholús.
Rialachán Brú Próisis:Manometer toilleas lúb dúnta ag tiomáint comhla uathoibrithe smeacháin féileacán le linn instealladh gáis.
Ábhair Ghalú & Comhoiriúnacht Foshraithe
Ábhair Ghalú:
ocsaídí:SiO2, Ta2O5, TiO2, Nb2O5, HfO2
Fluairíd:MgF2, LaF3
Miotail:Au, Ag, Al, Cr, Ti
Ábhair Foshraithe:
Gloine Optúil (BK7, Silica Comhleáite, Grianchloch)
Aiscíní leathsheoltóra (Sileacain, Gallium Arsenide)
Criostail (LiNbO3, Sapphire, YAG)
Céimseata Daingneáin:Cásanna rothlaithe pláinéadacha saincheaptha, daingneáin cruinneachán, agus sealbhóirí plátaí comhréidh a ndearnadh innealtóireacht orthu le haghaidh méideanna sonracha baisceanna.
Feidhmchláir & Fianaise Feidhmíochta Eimpíreach
Scagairí Cur isteach Léasair:Scagairí caolbhanda agus imeall a éilíonn cóimheasa díothaithe le doimhneacht blocála > OD6 ag 1064 nm.
Bratuithe Frith{0}Frithchaiteacha (AR):Bratuithe AR leathanbhanda ilchisealacha le haghaidh fuinneoga léasair ardchumhachta agus optaic cheamara.
Scátháin Dromchla Tosaigh:Frithchaiteoirí miotail íseal-chosanta ag cótaí crua tréleictreacha le haghaidh ionstraimíochta aeraspáis agus cosanta.
Sraitheanna Tréleictreacha Leathsheoltóra:Taiscí scannáin thréleictreach éighníomhacha agus inslithe ar fhoshraitheanna atá íogair ó thaobh teochta.
Saincheapadh
Méid an tSeomra:Trastomhais inmheánacha scálaithe ó 700 mm go 1300 mm.
Comhtháthú Foinse:Socruithe dé-léas E, foinsí friotaíochta teirmeach, nó cumraíochtaí sil-leaganacha.
Leibhéal Uathoibrithe:Láimhseáil leath-uathoibríoch láimhe nó láimhseáil foshraitheanna róbatacha lán-chomhtháite le-glais ualaigh.
Comhlíonadh:Painéil leictreacha CE, UL/CSA, agus pacáistí comhlíonta sábháilteachta SEMI S2/S8.
Rialú Cáilíochta & Fíorú Monarcha
Brath Sceitheadh:Tástáil sceite héiliam mais-speictriméadar ar gach seomra agus séala go < 1 x 10^-10 Pa*m^3/s.
Cigireacht Toiseach:Fíorú CMM ar flanges gléasta inmheánacha agus próifíliméadracht optúil ag deimhniú gairbhe an bhalla seomra (Ra<= 0.4 um).
Dó{0}}I dTástáil:Tástáil reatha 72 uair an chloig tirim leanúnach ar fholúschaidéil, soláthairtí cumhachta ardvoltais, agus lúba idirghlasa PLC.
Tástáil Glactha Próisis (SAILL):Rith brataithe tagartha a fhíoraíonn cobhsaíocht an ráta taiscthe agus spriocanna innéacs athraonta i gcoinne critéar réamhaontaithe.
Suiteáil & Tacaíocht Theicniúil
Treoir Réamhshuiteála:Líníochtaí leagan amach a chlúdaíonn uisce fuaraithe, aeráil sceite, ualaí leictreacha, agus toilleadh meáchain urláir.
Ar-Coimisiúnú an tSuímh:Cur i gcrích innealtóireachta allamuigh ar ailíniú meicniúil, seiceálacha sceite, hookups áirgiúlachta, agus comhthástáil SAT.
Oiliúint Próisis:Oiliúint oibritheora agus cothabhála a chlúdaíonn ríomhchlárú oidis, seirbhísiú foinse ian, agus athghiniúint caidéil.
Tacaíocht Saolré:Comhtháthú comhéadan diagnóiseach cianda agus bainistíocht fardail páirteanna spártha logánta.
CCanna
C: Conas a chuireann cúnamh ian cosc ar aistriú tonnfhad optúil?
A: Déanann buamáil ian fuinniúil struchtúr an scannáin a dhlúthú trí mhóiminteam a aistriú chuig adaimh, ag fáil réidh le folúsaí micreascópacha. Cuireann sé seo cosc ar ionsú taise san atmaisféar, agus an t-innéacs athraonta agus an speictream tarchurtha á ghlasáil cobhsaí.
C: Cad é an prótacal cothabhála agus downtime don fhoinse ian?
A: Deireadh gan ghreille-Tá iniúchadh comhpháirte inmheánach ag teastáil ó fhoinsí ian halla gach 200 go 300 uair an chloig próisis. Ligeann an dearadh babhtála tapaidh stíl caiséad do theicneoirí optaic ian a athsholáthar nó a sheirbhísiú agus an seomra a thabhairt ar ais i bhfolús laistigh de 2 uair an chloig.
C: An féidir leis an gcóras QCM agus monatóireacht optúil araon a chomhtháthú?
A: Tá. Úsáideann cumraíochtaí dé-mhonatóireachta QCM le haghaidh bunrátaí bunchiseal agus monatóireacht optúil (OMS) chun foirceann tarchurtha/machnaimh a rianú le haghaidh críochnú sraithe tonn ráithe beacht.
C: Cad iad na príomhriachtanais fóntais do sheomra caighdeánach 900 mm?
A: 3-phase power (380V / 480V, 50/60 Hz), chilled cooling water (~ 15 to 20 deg C at 4 - 6 bar), compressed air (>= 0.6 MPa), agus 99.999% gáis phróisis íona (Ar, O2) arna rialáil ag 0.2 - 0.3 MPa.
Clibeanna Te: ian -trealamh scannán tanaí galú chuidithe, ian tSín-déantóirí trealamh scannán tanaí galú chuidithe, soláthraithe, monarcha
