Córas brataithe folúis de ghrád tionsclaíoch a chomhtháthaíonn sputtering maighnéadrón (RF/DC/HiPIMS) agus galú stua cathodach. Deartha le haghaidh sil-leagain scannán tanaí ilchodach leanúnach, il-, cóimhiotal agus nana ilchodach ar scála táirgeachta.
Sonraíochtaí Teicniúla
|
Paraiméadar |
Luach Sonraíochta |
|
Brú Fholúis Deiridh |
<= 5.0 x 10^-4 Pa (Turbo-molecular and roots-rotary pump configuration) |
|
Toisí Seomra |
Méid saincheaptha ó D 600 mm x 600 mm go D 1500 mm x 1500 mm (304/316L electro-cruach dhosmálta snasta) |
|
Foinsí Taiscí |
Inchumraithe: 2-6 catóide sputtering magnetron / 2-4 foinsí stua |
|
Cumhacht Laofachta Foshraith |
0 go -1000 VDC inchoigeartaithe (DC bíogach le haghaidh foshraitheanna tréleictreach) |
|
Comhionannas Tiús Scannán |
<= +/- 3% across standard planar holder (via dynamic planetary rotation) |
|
Teocht Foshraith |
Comhthimpeallach go 650 céim (+/- 2 céim PID dúnta-rialú lúb) |
|
Dáileadh Cumhachta |
RF (13.56 MHz), DC, Pulsed DC, agus Lár-Minicíocht (MF) le cosc stua |
Príomhghnéithe
Comhtháthú Dé-Teicneolaíochta:Comhcheanglaíonn sé sputtering (scannáin chomhdhúile míne, éagruthacha) agus stua cathodach (sistíocht ard-miotail/cóimhiotail ianúcháin) i dtimthriall amháin anuas caidéil.
Dúnta-Bainistíocht Gáis Lúb:Cobhsaíonn Rialaitheoirí Aifrinn Sreafa (MFCanna) atá péireáilte le monatóireacht ar astaíochtaí optúla (OEM) páirtbhrúnna gáis imoibríocha.
Leithlisiú Meicniúil:Déanann tiomántáin phláinéadacha ilaiseacha imthacaí meicniúla a aonrú ó chrios an phróisis, rud a chuireann cosc ar éilliú cáithníneach.
Ailtireacht Theirmeach:Coscann -uisce le ballaí{-ballaí cuasáin fuaraithe agus sciath radaíochta saobhadh teirmeach le linn oibríocht ardchumhachta.
Croílár Uathoibrithe:Ailtireacht Siemens S7-1500 PLC agus WinCC SCADA le haghaidh monatóireachta comhghlasála, gáis agus cumhachta fíor-ama.
Cumraíocht an Chórais Fholúis
Traein Gharbh:Caidéil eite rothlacha a thiomáint go díreach le séidirí Roots tacaithe le séalaí maighnéadacha sreabhán.
Folús Ard:Turba-chaidéil mhóilíneacha (1200 - 3200 L/s) nó caidéil chrióigineacha arna ngearradh go maighnéadach.
Diagnóisic:Calafoirt chomhtháite tástála mais-speictriméadar Héiliam agus comhghlais seicheamhaithe uathoibrithe.
Comhoiriúnacht Ábhair & Foshraithe
Spriocábhair:
Miotail:Ti, Cr, Al, Zr, Cu, TiAl, CrAl, Si
Ceirmeacht/Comhdhúile:TiN, CrN, TiAlN, DLC, Al2O3, SiO2
Foshraitheanna:Uirlis Steels (H13, M2, Ionsáigh chomhdhúile), cóimhiotail struchtúracha Tíotáiniam/Alúmanam, criadóireacht innealtóireachta, agus sliseog sileacain.
Feidhmchláir & Feidhmíocht Chruthaithe
Uirlisí Gearrtha:Bratuithe ilchisealacha íseal-fhrithchuimilte, ard-chruas (TiAlN/TiN) le haghaidh saolré leathnaithe uirlisí faoi mheaisínithe ardluais thirim.
Feithicleach:Caith agus frith{0}}bratuithe scuffála le haghaidh fáinní loine agus bioráin insteallta breosla.
Aeraspáis:Bacainn theirmeach atá frithsheasmhach in aghaidh ocsaídiúcháin agus scannáin chosanta ar lanna agus dúntóirí comhbhrúiteora.
Optaic & Leictreonaic:Ocsaítí trédhearcacha seoltacha (ITO) agus scagairí trasnaíochta optúla.
Roghanna Saincheaptha
Céimseata Aireagail:Cumraíochtaí bosca dronuilleogacha le haghaidh luchtú raca baisc nó geoiméadracht inlíne sorcóireach.
Iarfheistiú Foinse:Feirí gléasta catóide idirmhalartaithe le haghaidh comhshó páirce go CFUBMS.
Eitseáil Plasma:Kaufmann-clóscríobh gunnaí ian nó foinsí loga catóide le haghaidh glantacháin in-substráit in situ.
Rialú Cáilíochta & Tástáil Monarcha
Sláine Fholúis:Táirseach tástála sceite héiliam<= 1 x 10^-9 Pa*m^3/s.
Críochnú Dromchla:Táthaithe inmheánacha an tSeomra leictrithe-snasta go Ra<= 0.4 um.
Saill:72-tástáil leanúnach triomú uair an chloig ar fholús, ar ghluaisne agus ar lúba comhghlasála sábháilteachta roimh an gcliathán.
Caighdeáin Chomhlíonta:Tógtha de réir threoracha innealra CE agus caighdeáin ISO 9001. (Deilbhíní Suaitheantas Iontaobhais: ISO 9001, CE, UL)
Suiteáil & Tacaíocht Theicniúil
Beart Doiciméadúcháin:schematics P&ID, léaráidí sreangú leictreach, loighic foinse PLC, agus sainchomhaid chomhlíonta CE/UL.
Coimisiúnú:Déanann innealtóirí allamuigh maoirsiú ar shuíomh meicniúil, hookups áirgiúlachta, agus fíorú seiceála sceite.
Sath & Aistriú Oideas:Ritheann trialacha bonnlíne agus barrfheabhsú oidis ar-ar an suíomh.
CCanna
C: Cad é-an t-am síos caidéil chun brú a bhunú?
A: Sroicheann sé < 5.0 x 10^-4 Pa laistigh de 45 nóiméad faoi choinníollacha teirmeacha glana, tirime agus comhthimpeallacha.
C: An féidir leis an gcóras aistriú idir lárphróiseas sputtering DC agus RF?
A: Tá. Ceadaíonn an mhaitrís cumhachta do bhogearraí-seicheamhú rialaithe idir DC, DC bíogach, agus RF gan folús a bhriseadh.
C: Cad iad na fóntais atá ag teastáil ar-suíomh?
A: Uisce fuaraithe (15 go 20 céim ag 0.3 go 0.4 MPa), aer comhbhrúite (0.6 MPa), gáis phróisis ard-íonachta (Ar, N2, O2 ag 99.999%), agus cumhacht tionsclaíoch 3-chéim tiomnaithe.
C: Conas a rialaítear teocht an tsubstráit le linn taiscthe?
A: Piriméadair infridhearg chomhtháite mar aon le bainc téitheoir radanta agus rialú lúb dúnta PID.
Clibeanna Te: córas scannán tanaí ilchodach pvd, monaróirí córas scannán tanaí ilchodach pvd tSín, soláthraithe, monarcha
