PVD Il-Próiseáil Trealamh Scannán Thanaí

Is éard atá sa PVD Il{0}}Trealamh Scannán Thin Próiseas, ardán fosaithe bhfolús comhtháite a ndearnadh innealtóireacht air chun il-theicnící déantúsaíochta scannán tanaí a chur le chéile-lena n-áirítear Sputtering Magnetron RF/DC, Galú Teirmeach, agus Galú Leictreon-léas-laistigh d'ailtireacht fholús aontaithe.

Cuireann an córas seo deireadh le héilliú folúsbhriseadh idir sraitheanna próisis ar leith, rud a fhágann gur féidir scannáin choimpléascacha ilchisealacha mhiotalacha, thréleictreacha agus leathsheoltóra a leagan gan nochtadh comhthimpeallach. Cumraithe le haghaidh braislí T&F saotharlainne nó táirgeadh líne píolótach, déanann sé freastal ar fhoshraitheanna suas le 300mm ar trastomhas nó ar iompróirí saincheaptha.

Ailtireacht Fholúis Mhodúil:Coscann seomraí próisis neamhspleácha atá cúpláilte le comhlaí geataí tras-éilliú idir sputtering imoibríoch agus -folúsghalú ard.

In-Aistriú Foshraith Fholúis:Coinníonn airm aistrithe maighnéadacha nó líneacha ardfholús (< 10^-4 Pa) during inter-chamber sample movement.

Tapa-Athraigh Flanges Foinse:Tá catóidí sputter agus e-breogáin léis suite ar fheirí caighdeánacha CF le haghaidh cothabhála tapa agus athsholáthar sprice.

Gaisteáil Chrióigineach Casta:Laghdaíonn gaistí fuara nítrigine leachtacha comhtháite agus gaistí Meissner brú gal uisce iarmharach taobh istigh den seomra.

Dúnta-Faireachán Tiús Lúibe:Soláthraíonn braiteoirí micreachothromaithe criostail dé-Ghrianchloch (QCM) ráta taisce fíor-ama agus aiseolas tiús atá nasctha go díreach le rialáil an tsoláthair chumhachta.

Roughing Stage:Ola-caidéil scrollaithe saor in aisce arna bpéireáil le séidirí fréamhacha ilchéime chun aisshruthú hidreacarbóin a dhíchur.

Céim Ard Fholúis:Backed by magnetically levitated turbo-molecular pumps (>1200 L/s le haghaidh N2) agus crióchaidéil roghnacha-thréchur gaile.

Rialachán Brú:Manometers toilleas Baratron chun brú iomlán a thomhas neamhspleách ar speicis gháis, péireáilte le comhlaí throttle uathoibrithe le haghaidh rialú brú gáis próisis beacht (0.1 Pa go 10 Pa).

Brath Sceitheadh:Sceitheadh ​​héiliam-tástáil go < 1 x 10^-9 Pa*m^3/s roimh thástáil glactha monarchan (SAILLE).

Spriocanna Seolta:Au, Ag, Cu, Al, Ti, Cr, ITO, AZO, Mo, W, NiCr.

Ábhair Thréleictreacha:SiO2, TiO2, Al2O3, Ta2O5, HfO2 (trí sputtering imoibríoch nó e-léas).

Cineálacha Foshraithe:
Sliseoga leathsheoltóra (Sileacain, Gailliam Arsenide, Fosfíd Indium).

Bearnaí optúla (silice comhleáite, BK7, Sapphire).

Gréasáin solúbtha agus leatháin miotail tanaí (Polyimide, scragall cruach dhosmálta).

Optaleictreonaic:Soilsiú sraitheanna ocsaíde seoltacha trédhearcacha (TCO) agus stoic scagairí optúla frith-fhrithchaiteacha (AR).

Déantúsaíocht Ghléis Leathsheoltóra:Teagmhálacha ohmic a fhoirmiú, bacainní Schottky, sraitheanna síolta le haghaidh leictreaphlátála, agus bacainní idirleata (Ti/TiN).

Déantúsaíocht Braiteoir:Tomhsairí brú miotail tanaí scannáin, micri-eilimintí téitheoir, agus trasduchtóirí piezoelectric.

T&F Casta:Sintéis scannán tanaí ilchiseal taiscéalaíoch le haghaidh comhpháirteanna ríomhaireachta chandamach agus ábhair nua stórála fuinnimh.

Céimseata Aireagail:Toisí cuasáin á leathnú le haghaidh foshraitheanna baisc neamhchaighdeánacha nó rómhóra.

Comhtháthú Foinse:Cóimheasa leithdháilte saincheaptha idir gunnaí sputtering magnetron agus pócaí galú léas leictreoin.

Sputtering Laofachta:Roghanna claonta tsubstráit RF/DC do dhlúsú scannáin agus rialú struis.

Luchtaigh-Comhtháthú Glas:Cur leis -seomraí glasála uathoibrithe chun sláine an fholús ard a choinneáil le linn timthriallta luchtaithe tréchur ard.

Inrianaitheacht Ábhar:Deimhnithe tástála muilte (MTCanna) curtha ar fáil do gach comhpháirt cruach dhosmálta i bhfolús-taobh agus fráma struchtúrach.

Tionól Seomra Glan:Comhtháthú deiridh agus-fíorú comhaireamh na gcáithníní déanta i dtimpeallacht seomra glan ISO Class 6.

Tástáil Glactha Monarchan (SAILL):72-tástáil bhácáil fholús leanúnach 72 uair an chloig, tástáil sceite trí mhais-speictriméadracht anailíseora gáis iarmharaigh (RGA), agus rith sil-scannáin bonnlíne ag fíorú aonfhoirmeacht tiús.

Treoir Ullmhúcháin Suímh:Comprehensive utility mapping provided pre-shipment, detailing chilled water flow rates (>15 L/nóim), aer comhbhrúite, línte gáis próisis (Ar, O2, N2 ag íonacht 99.999%), agus ceanglais ualaigh leictreach (3-chéim 380V/480V).

Coimisiúnú:Suiteáil ar-suíomh, calabrú i bhfolús, agus comh-ritheantais-a rinne innealtóirí seirbhíse allamuigh na monarchan.

Oiliúint Oibreora:Oiliúint struchtúrtha 5-lá ar an láthair a chlúdaíonn gnáthchothabháil, prótacail sábháilteachta folúis, ríomhchlárú oidis, agus bunfhabhtcheartú.