Trealamh eitseáil tirim

Trealamh eitseáil tirimIs réiteach ardfheidhmíochta é le haghaidh próiseála beachtais ábhair ar fud na dtionscal éagsúil. Ag úsáid ardleibhéilEitseáil ian imoibríoch (RIE)Teicneolaíocht, baineann an trealamh seo amach eitseáil neamhtheagmhála, saor ó iarmhar gan ceimiceáin leachtacha, rud a fhágann go bhfuil sé oiriúnach d'iarratais a éilíonn cruinneas micron-leibhéal agus comhlíonadh comhshaoil.

Cumas eitseáil anisotrópach

• Comhcheanglaíonn an córas imoibrithe ceimiceacha (speicis plasma-ghníomhachtaithe) le bombardú ian treo, rud a chumasaíonn próifílí beacht ingearach ingearach. Tá sé seo ríthábhachtach chun microstruchtúir a chruthú ar mhiotail (m.sh. cruach dhosmálta, cóimhiotail tíotáiniam), criadóireacht (al₂o₃, sic), agus polaiméirí (PEEK, PTFE).
• Aonfhoirmeacht eitseáilCoinnítear é laistigh de ± 5% thar fhoshraitheanna suas le 800 mm ar trastomhas, fiú i gcás geoiméadraí casta.

Dearadh Modúlach & Scalability

• Cumraíochtaí ilfhoinse ian: Tacaíonn an trealamh le foinsí ian líneach, ciorclach, nó rada-minicíochta, a cheadaíonn próiseáil chomhuaineach ilphíosaí oibre.
• Paraiméadair Próisis Inchoigeartaithe: Is féidir fuinneamh ian (5 0} - 500 eV) agus dlús plasma (10¹⁰ - 10¹² cm⁻³) a bharrfheabhsú chun an ráta eitseáil (suas le 30 nm/min) agus réidh réidh (RA <0.1 μm) a chothromú.

Oibríocht atá neamhdhíobhálach don chomhshaol

• Dramhaíl leachtach nialas: Murab ionann agus eitseáil fhliuch, cuireann an próiseas tirim deireadh le diúscairt cheimiceach ghuaiseach.
• Dearadh tíosach ar fhuinneamh: Is é an tomhaltas cumhachta 10 kW ná 30% níos ísle ná na córais thraidisiúnta, agus déantar diomailt teasa a bhainistiú trí chóras fuaraithe uisce íon dúnta (níos mó ná nó cothrom le ráta sreafa 4 m³/h).

Rialú próisis feabhsaithe

• Monatóireacht fíor-ama.
• Prótacail sábháilteachta uathoibrithe: Cinntíonn cosaint ró -ualaigh, cosc ​​stua, agus meicníochtaí múchta éigeandála sábháilteacht oibríochtúil.

Feidhmíocht Réamh-Eitilte agus Iar-Eitilte

• Réamh-eitseáil.
• Iar-eitseáil: Baintear amach dromchla glan, saor ó fhabht le géire rialaithe, ag feabhsú próisis ina dhiaidh sin mar sciath PVD, nascadh, nó priontáil.

• Optaic: Microstruchtúir frith-fhrithchaiteacha a eitseáil ar lionsaí agus ar phainéil taispeána.
• Uirlisí beachta: Uirlisí dromchla uirlisí agus múnlaí chun friotaíocht chaitheamh a fheabhsú.
• Comhpháirteanna fuinnimh nua: Leictreoidí a struchtúrú le haghaidh córais ceallraí agus cille breosla.