Plasma Eitseáil trealamh scannán tanaí

Plasma Eitseáil trealamh scannán tanaíIs réiteach ceannródaíoch é atá deartha chun cruinneas bratuithe tanaí-scannáin a bhaint amach, ag tairiscint feidhmíocht eisceachtúil i modhnú dromchla agus i mbaint iarmhar. Teicneolaíocht Eitseáil ian imoibríoch (RIE) a ghiaráil, comhcheanglaíonn an trealamh seo imoibrithe ceimiceacha agus bombardú ian fisiciúil chun deireadh a chur le scannáin aonfhoirmeacha agus rialaithe.

• Próiseáil ísealteochta. Tá an ghné seo ríthábhachtach d'ábhair íogair amhail polaiméirí agus optaic bheachtais.
• Ráta eitseáil inchoigeartaithe.
• Ard aonfhoirmeacht: Tá foinsí bíoma ian paitinnithe agus teicneolaíocht ard-urscaoilte ann, cruthaíonn an trealamh plasma ard-dlúis, ag cinntiú eitseáil aonfhoirmeach agus torthaí comhsheasmhacha thar fhoshraitheanna suas le 800 mm ar trastomhas.
• Défheidhmiúlacht: Taobh amuigh de bhaint scannán, is féidir an córas seo a oiriúnú le haghaidh feidhmchlár ilfheidhmeach, lena n-áirítear glanadh dromchla agus réamhchóireáil do phróisis sciath ina dhiaidh sin.

AnMeaisín glantacháin plasmaFeidhmíonn sé trí idirghníomhú sofaisticiúil maidir le bombardú fisiciúil agus imoibrithe ceimiceacha atá á dtiomáint ag gás ianaithe (plasma). Ag croílár an chórais, cruthaíonn an córas plasma trí fhuinneamh radaimhinicíochta (RF) a chur i bhfeidhm ar thimpeallacht gháis ísealbhrú (m.sh. ocsaigin, argón, nó nítrigin). Déanann an fuinneamh seo móilíní gáis a dhíscaoileadh i speicis imoibríocha, lena n-áirítear ian, leictreoin, agus fréamhacha saor in aisce, ag cruthú scamall plasma ardfhuinnimh.

1, giniúint plasma:
Nuair a chuirtear cumhacht RF (de ghnáth 13.56 MHz nó 40 kHz) i bhfeidhm ar na leictreoidí laistigh den seomra folúis, déantar ianú ar mhóilíní gáis. Cruthaíonn sé seo urscaoileadh glow, a tháirgeann stát plasma seasmhach. Cinneann roghnú na ngás próisis an mheicníocht imoibriúcháin ceannasach: sáraíonn plasma ocsaigine ag ábhair shalaithe orgánacha a ocsaídiú, agus cuireann Argon plasma le sputtering fisiciúil le haghaidh iarmhair neamhorgánacha.

2, meicníocht glantacháin:

• Bombardú fisiciúil:Imbhuaileann ian ardfhuinnimh sa phlasma le hábhair shalaithe dromchla, ag briseadh bannaí móilíneacha agus ag díbirt cáithníní trí aistriú fuinnimh cinéiteach. Cuireann an próiseas seo deireadh le hábhar cáithníneach agus le sraitheanna a chloítear go lag.
• Imoibriú ceimiceach:Idirghníomhaíonn fréamhacha imoibríocha (m.sh., O⁎, OH⁎) le truailleáin orgánacha, agus iad á ndianscaoileadh ina bhfortháirgí so -ghalaithe (CO₂, H₂O) a aslonnú tríd an gcóras folúis.
• Gníomhachtú dromchla:Ag an am céanna, athraíonn nochtadh plasma ceimic dromchla trí ghrúpaí feidhmiúla polar (-OH, -COOH) a chruthú, feabhsuithe agus greamaitheacht a fheabhsú do phróisis ina dhiaidh sin.

Comparáid roimh agus iar-eitseáil

• Réamh-eitseáil.
• Iar-eitseáil: Baintear amach dromchla pristine, saor ó thruailliú, ag feabhsú greamaitheacht le haghaidh bratuithe ina dhiaidh sin agus ag feabhsú iontaofacht an táirge i dtionscail cosúil le leictreonaic tomhaltóra, optaic, agus fuinneamh in-athnuaite.

• Gás eitseáil: Ar, o₂
• Soláthar cumhachta: 380V/50Hz, 10 kW
• Córas folúis: Caidéal móilíneach le bunbhrú níos lú ná nó cothrom le 5. 0 × 10⁻⁴ PA
• Oiriúnú: Is féidir méid an tseomra agus toisí seachtracha a chur in oiriúint do riachtanais na gcliant.

• Baint le scannáin tanaí le haghaidh lionsaí optúla, painéil taispeána, agus uirlisí beachtais.
• Réamhchóireáil dromchla i Leictreonaic 3C, Feistí Leighis, agus Tionscail Nua Fuinnimh.