Cur síos ar an trealamh:
· Trealamh Réamhrá:
Cuir móilíní gáis an phróisis in iúl a théann tríd an seomra eitseáil agus ianú chun plasma a tháirgeadh.
Freagraíonn cuid de na grúpaí gníomhacha sa phlasma go ceimiceach le dromchla an ábhair eitseáilte;
Cuir trealamh eitseáil scannán tanaí tríd an soláthar cumhachta cuisle/minicíochta raidió, déantar na hiain dhearfacha sa phlasma a bombardú go fisiciúil ar dhromchla an ábhair eitseáilte, chun dromchla an ábhair a ghlanadh, a mhodhnú agus a eitseáil trí mheascán fisice agus ceimice.
· Buntáistí trealaimh:
Is féidir le teocht eitseáil ultra-íseal a chur in iúl, chun riachtanais teochta ócáidí éagsúla a chomhlíonadh, strus teirmeach agus dífhoirmiúchán foshraithe a sheachaint;
Is féidir an dá thaobh den sorcóir, cothabháil éasca a chur i bhfeidhm ar fhoinse dé -ian sainráite;
Express Tin Scannán Trealamh Eitseáil Trealamh Glacann Foinse Glantacháin Bíoma agus Teicneolaíocht Urscaoilte Uathúil, Dlús Plasma Ard, Éifeacht Glantacháin Eitseáil go maith, le haonfhoirmeacht mhaith;
Aláram agus cosaint a chur in iúl: Áirítear le cosaint sábháilteachta chuimsitheach: feidhm cosanta sábháilteachta teochta, feidhm cosanta ró -ualaigh, feidhm chosanta aláraim ciorcaid ghearr, feidhm cosanta mí -obráide éagsúla.
Réimse Iarratais:
Ábhair incheadaithe sainráite: comhpháirteanna miotail, neamh-mhiotail, cóimhiotail, leictreonacha (sileacain monocrystalline, sileacain éagruthach, polysilicon, SOI), ocsaídí miotail, nítrídí, cairbídí, criadóireacht, polaiméirí, ábhair mhaoirseachta, etc.
Cuir in iúl é is féidir é a úsáid mar mheaisín fadála scannáin do scannáin DLC/TA-C.
Is féidir Express a úsáid i: 3C leictreonaic tomhaltóra, comhpháirteanna leictreonacha, optaic, iompar, múnla uirlisí, fearais tí, fuinneamh nua, institiúidí leighis, institiúidí taighde agus tionscail eile.
Sula n -eitseáil ian tar éis eitseáil ian
Clibeanna Te: Trealamh Eitseáil Scannán Thin, an tSín Tanaí Scannán Scannán Monaróirí, Soláthraithe, Monarcha
